高速・高効率フェムト秒レーザー加工による3次元微細加工技術の開発。

近年，フェムト秒レーザーを用いて，金属や半導体，誘電体の3次元サブミクロン構造を高精度に加工して，屈折率・反射率・摩擦・撥水性等を制御することで，材料に新規な機能性を付加する研究が行われています．この加工技術は，3次元光回路の微細化や，光電変換素子の高効率化に寄与すると期待されています．その製造に必要となる3次元微細加工技術は，急速に市場拡大しているデジタル家電や光情報処理装置の超小型化に寄与するキーテクノロジーであり，その高効率化が求められています．

私達は，計算機ホログラムを用いたフェムト秒レーザーの光波（強度，位相，偏光）制御による，超高速・高効率レーザー加工システムの開発や，光の究極制御が本質となる新規加工技術の開拓を行っています．開発した加工システムにより，金属や透明材料内部に制御されたナノスケール構造を高速に施し，新しい機能性デバイスを創出することを目指しています．