先端材料開発の支援を目的として材料分析技術を開発する。

電子工学におけるキーテクノロジーの1つに材料技術があります。その中でもやや周辺的な技術となる材料分析技術を開発する研究を行っています。特に，ナノテクノロジーの進展に少しでも貢献することを目標に，X線発光分光法に関連する技術開発を行っています。写真は，研究室で開発したX線発光分光装置です。材料に電子線を照射すると材料内の原子からX線が発生します。そのX線を分光測定して化学結合の様子を調べます。