佐藤 隆之介 准教授

佐藤 隆之介

百万分の一ミリメートルの加工現象を解明する。

半導体の高性能化やマイクロマシンの開発等,加工に要求されるスケールは十万~百万分の1ミリ(ナノメートル)すなわち分子数個分の世界へと指向しています。ナノマシニングとは,この領域における原子・分子レベルの現象を積極的に利用しナノメートルオーダの加工を行うものであり,数ナノメートルオーダの隆起・除去加工およびナノマシニングにおける原子挙動の解析等に取り組んでいます。

マイカ表面のナノマシニング

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