教員詳細

研究のテーマ

EUV光源
高繰り返しレーザー・非線形波長変換
医用生体工学・医療/工業分野向け光計測

研究内容

大きく分けて，以下の(1)から(3)の3つの研究を進めています．
(1) EUV光源：半導体回路の微細化に必要なレーザー生成プラズマEUV光源（波長：13.5 nm, 6.x nm）の高効率化とクリーン化に関する研究を行っています．分光・高速イオン計測・デブリの強制排出技術のほか，EUV光源に適したレーザー装置も開発しています．また，EUV露光に関する光学素子の光学定数評価なども行っています．国内外の大学や研究所，企業と共同研究を進めています．

(2) 高繰り返しレーザー・非線形波長変換：光ファイバーによる小型レーザー発振器や固体薄ディスク，固体ロッドによる高繰り返し高出力レーザー開発と中赤外光，短波長光，超広帯域光への非線形波長変換に関する研究を行っています．国内外の大学や研究所，企業と共同研究を進めています．

(3) 医用生体工学・医療/工業分野向け光計測：自動車のトランスミッション/バルブボディーや人の外耳道を形状計測できる極細内視鏡からスタートした内視鏡開発を進展させ，極細内視鏡開発を進めています．画像解析に深層学習を取り入れています．国内の大学と共同研究を進めています．