教員詳細
Teaching staff detail研究のテーマ
EUV光源
高繰り返しレーザー・非線形波長変換
医用生体工学・医療/工業分野向け光計測
研究内容
大きく分けて,以下の(1)から(3)の3つの研究を進めています.
(1) EUV光源:半導体回路の微細化に必要なレーザー生成プラズマEUV光源(波長:13.5 nm, 6.x nm)の高効率化とクリーン化に関する研究を行っています.分光・高速イオン計測・デブリの強制排出技術のほか,EUV光源に適したレーザー装置も開発しています.また,EUV露光に関する光学素子の光学定数評価なども行っています.国内外の大学や研究所,企業と共同研究を進めています.
(2) 高繰り返しレーザー・非線形波長変換:光ファイバーによる小型レーザー発振器や固体薄ディスク,固体ロッドによる高繰り返し高出力レーザー開発と中赤外光,短波長光,超広帯域光への非線形波長変換に関する研究を行っています.国内外の大学や研究所,企業と共同研究を進めています.
(3) 医用生体工学・医療/工業分野向け光計測:自動車のトランスミッション/バルブボディーや人の外耳道を形状計測できる極細内視鏡からスタートした内視鏡開発を進展させ,極細内視鏡開発を進めています.画像解析に深層学習を取り入れています.国内の大学と共同研究を進めています.