1. HOME
  2. 研究成果

研究成果一覧

Research
EUV光源の世界最高変換効率（理論値）10.3%の達成　― 超微細の先端半導体製造の省エネ化にブレークスルー

電気電子

EUV光源の世界最高変換効率（理論値）10.3%の達成　― 超微細の先端半導体製造の省エネ化にブレークスルー ―
2023.09.13

機械システム

Diamond Like Carbon膜の密着力評価方法を国際規格化 ～汎用的な摩擦試験機にAEセンサを組合せることで評価が可能に～
2023.05.22

機械システム

Diamond Like Carbon膜の密着力評価方法を国際規格化 ～汎用的な摩擦試験機にAEセンサを組合せることで評価が可能に～
2023.05.22
EUV光源の世界最高変換効率（理論値）10.3%の達成　― 超微細の先端半導体製造の省エネ化にブレークスルー

電気電子

EUV光源の世界最高変換効率（理論値）10.3%の達成　― 超微細の先端半導体製造の省エネ化にブレークスルー ―
2023.09.13