EUV光源の世界最高変換効率（理論値）10.3%の達成 ― 超微細の先端半導体製造の省エネ化にブレークスルー ―[...] 【発表のポイント】•波長13.5 nmのEUV光源の高効率化に関する研究です。•炭酸ガス (CO2) レーザー生成スズ (Sn) プラズマが放射するEUV変換効率を放射流体シミュレ 2023.09.13
Diamond Like Carbon膜の密着力評価方法を国際規格化 ～汎用的な摩擦試験機にAEセンサを組合せることで評[...] 【発表のポイント】・摩擦係数の低いDiamond Like Carbon（DLC）膜の信頼性確保に密着力の管理が重要です。・既存の評価法は実部品での試験結果との相関が不十分で、研究 2023.05.22
